TOPCon镀膜设备参考

光伏学习 1天前

摘要:PECVD方面，微导前期通过PEALD实现隧穿SiO2，以及金辰的热氧实现隧穿SiO2,均将转换至主流的PECVD方式实现隧穿SiO2。目前仍维持LPCVD和PECVD两种路线的厂商有红太阳和赛瑞达...

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