一图读懂：LPCVD、PECVD、PVD的原理、优劣、良率与厂商
光伏学习 19小时前
摘要:尽管LPCVD具备原位掺杂的能力，但受制于LPCVD原位掺杂镀膜均匀性较差，实际仍以i-Poly+磷扩为主，前期因为绕度的顾虑，以单槽单插为主，成本降低的促进下，新上的LPCVD路线基本均布局单槽双插...
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